超純水機，是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理等方法，將水中的導電介質幾乎**去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機又稱做：超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水係統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大於10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優質超純水出水能達到18.25兆歐。
工業純水機由預處理係統、精處理係統、後處理係統三大部分組成。原水經石英砂單元、活性炭單元、軟水器單元等預處理係統後，使水中的懸浮物（顆粒物質）、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕後續的反滲透、電除鹽等精處理係統的處理負荷，延長其使用壽命。
超純水機使用的技術原理是：
超純水機的離子交換是一種特殊的固體吸附過程，它是由離子交換劑的電解質溶液中進行的。一般的離子交換劑是一種不溶於水的固體顆粒狀物質，即離子交換樹脂。它能夠從電解質溶液中吸取某種陽離子或者陰離子，而把自身所含的另外一種帶相同電荷符號的離子等量地換出來，並釋放到溶液中去，這就是所謂的離子交換。按照所交換離子的種類，離子交換劑可分為陽離子交換劑和陰離子交換劑兩大類。
超純水機一般采用反滲透技術離子交換原理製備超純水，超純水機的工作原理其實就是給水加壓，使水分子和少量元素可以進入反滲透膜，而水中的其他無機鹽、重金屬等有機物和細菌無法通過反滲透膜，從而將透過的純水與未過濾的廢水分離。反滲透膜的孔徑通常在0.0001微米以下，可以隔離病毒和大部分細菌。可以達到純水的水質標準。
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