製藥用工業(ye) 超純水機係統設備主要由製備單元和儲(chu) 備與(yu) 分配係統兩(liang) 部分組成，製藥用蒸汽係統則主要由製備單元和分配係統兩(liang) 部分組成，這兩(liang) 部分係統是相似的。其中，製備單元主要包括軟化水機、純化水機、高純水機、蒸餾水機及純蒸汽發生器。